近年来随着工业仪器仪表控制技术、微型机械系统的不断发展，现如今在很多工况下需求体积更小巧、功能更集成、性能更优异、长寿命、无油环保的微型真空泵、微型真空抽打气泵、微型真空水泵等产品得到越来越多的广泛使用。如：医疗器械设备成套、实验室抽真空添加试剂、汽车配件运用、环保采样、食品饮料灌装、工厂吸附设备主要气源、一般应用气路系统设计等领域有着巨大的应用前景。
微型泵作为微流量控制系统的核心执行部件，需要结合应用场景、微型泵相关参数和结构特性，对气路中流量、真空度、压力进行综合设计，本文通过对于流量调节回路设计、真空度调节回路设计、压力调节回路设计、进排气切换回路设计、流量脉动性消除气路设计，对微型泵典型气路系统设计进行了描述，可作为工程设计人员在微型泵气路设计和选型时的技术参考。
本设计指南包含以下内容：
前 言 1
修改记录 2
目 录 3
1 背景介绍 4
1.1 背景介绍 4
1.2 基础知识 4
1.3 流量脉动性 6
2 流量调节回路 9
2.1 流量调节回路设计 9
2.2 通过调速功能调节流量 10
2.3 导致流量衰减的因素和凯发体育app的解决方案 11
3 真空度调节回路 13
3.1 真空度调节回路设计 13
3.2 导致真空度衰减的因素和凯发体育app的解决方案 14
4 压力调节回路 16
4.1 压力调节回路设计 16
4.2 导致压力衰减的因素和凯发体育app的解决方案 17
5 进排气切换回路 19
5.1 采用二位四通阀实现进排气切换 19
6 流量脉动性消除方案 21
6.1 通过缓冲气室消除流量脉动性 21
6.2 其他替代方案 22
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